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型號(hào)：1kW微波等離子體火炬
說(shuō)明：微波等離子
GMPT-209 1kW微波等離子體火炬
一、技術(shù)特點(diǎn)及用途
● 系統(tǒng)將微波源，微波傳輸系統(tǒng)，等離子體火炬腔及控制系統(tǒng)等各部分有機(jī)地組合成的一套完整的設(shè)備，它具有性能先進(jìn)、功能完善、結(jié)構(gòu)合理，使用方便。
● HMPT-209 微波等離子體火炬是實(shí)驗(yàn)室用AES 和化學(xué)處理研究的理想工具。其廣泛用于SiO2、金剛石膜等材料的快速CVD合成；多種金屬材料的表面改性處理；花崗巖片的表面精細(xì)加工；超微細(xì)粉的制備；材料的精細(xì)焊接和切割等等。
● 火焰溫度高，形狀易控制，極高的等離子體密度，在與被處理材料產(chǎn)生有利的化學(xué)作用后，能快速沉積SiO2，金剛石膜等多種材料
● 適應(yīng)于多種氣體，工作穩(wěn)定，操作方便。
二、技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) | |
工作頻率 | 2450±50MHz |
輸出功率 | 0.1-1kW連續(xù)可調(diào) |
功率穩(wěn)定度 | （在額定功率電平） 優(yōu)于±1% |
輸出波導(dǎo)接口 | 功率頭外置帶FD-26標(biāo)準(zhǔn)法蘭 |
輸入電源 （1和2可選擇配置） | 1）380V±10% 50Hz，三相四線，3kVA 2）220V±10% 50Hz，單相，2kVA（開關(guān)電源） |
冷卻水流量 | 3 L/min |
系統(tǒng)駐波系數(shù) | VSWR ≤ 1.5 |
微波泄漏 | 符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) |
工作氣壓范圍： | 100 Torr 至大氣壓 |
氣 體 | 2路氣體（適合于多種氣體） |
系統(tǒng)包括：
1、1kW程控微波源、功率頭；（也可配1kW開關(guān)電源）
2、波導(dǎo)傳輸系統(tǒng)：BJ-26環(huán)行器、BJ-26水負(fù)載、BJ-26電動(dòng)銷釘、BJ-26短路活塞、BJ-26火炬腔；
聯(lián)系電話：028-84372044 張經(jīng)理：13628002725
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